运用行业

   主要应用于半导体行业、LED玻璃行业、太阳能行业大型刻蚀生产线的集中供酸、混酸工程。

设计基准

1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS

2.CDS将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房；

3.设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T板材，内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;

4.系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump方式运送到制程使用点；

5过滤器:配有10”PFA材质过滤器外壳;

6.供液泵:每种化学液体配有两台或者一台PTFE材质的进口隔膜泵;

7. Empty Sensor&Level Sensor:

酸碱类采用一般型静电容近接开关；

8.所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。

CDS系统功能描述

   设备主要功能:每种化学液体配两个桶（自动切换）、配两台泵（一用一备）、带过滤器；系统控制单元:配带西门子10寸彩色触摸屏，西门子品牌PLC系统;

2.操作模式:

   CDS系统皆有PLC 作内部流程控制，操作介面以流程方式执行，兼具自动化与亲和力。

在自动模式情形下可自行达成供酸功能。

   在手动模式及维修模式底下可针对单一自动元件操作

3.设备结构:

(1)机架(Frame):盘底SUS 方管50x50x1.5T 与机体以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架构而成，具有调整脚座。

(2)外观:酸碱类系统的外观以WPP 被覆。

(3)箱体

(一)箱体材质型式

供腐蚀性化学品用之材质为WPP/透明PVC。

（二）阀体材质型式

供腐蚀性化学品用之材质为PFA或PTFE。

（三）泄漏侦测型式

采静电容式或光电式，须能耐酸险之浸泡。

（四）分流箱(VMB)必要设施说明

箱体外部须清楚标示其所输送化学品之名称与化学式。

4.设备内部空间规划:

(1)配管区:管路流程整齐清楚，操作方便，具有防止喷溅及承接并排放泄漏功能。

（2）电控区:完全密封，可防止酸气侵蚀电控元件。

(3)取样区: 取样方便具有防止酸液喷溅及排放泄漏功能。

(4)桶槽区:方便更换桶槽，并有链条防止桶槽滑动，有正压及排气功能，保持区域内之洁净度，下方有排放泄漏功能。

5.电控系统:

(1)空间规划:完全与酸气隔离的独立空间并有N2 Purge 功能，从后方有宽大维修空间。

(2)重要元件:

PLC: 西门子

GP:10” 西门子

Empty Sensor & Level Sensor:采用静电容近接开关

6.附属装置:

(1)排气装置:每一个unit皆配备排气装置

(2)每一个Unit皆配备一组DIW GUN。

7.安全保护装置:

(1)漏电断电断路保护装置

(2)机台底部漏液检知装置

(3)电控箱正压装置

(4)E.M.o.装置